依据教育部《高等学校仪器设备管理办法》、《华中科技大学仪器设备管理规定》，为促进仪器设备资源的有效配置，进一步加强对大型仪器设备的管理，促进大型仪器设备开放共享，提高大型仪器设备使用效益。微纳加工与测量实验室拥有超声原子力模量成像分析仪 、钨灯扫描电镜 、超声扫描显微镜 、原子力显微镜 、数字全息显微镜 、广义椭偏仪等仪器和设备，可以提供专业的微纳加工与测量服务。