功能介绍

　　对三维形貌实时非接触测量，材料大面积表面形貌快速测量，微小零部件动态性能测试。使用数字全息原理，使该仪器具有非接触，对环境光的干扰不敏感，对振动不敏感，测量时无需对焦等特点。

　　主要技术参数

　　·全场景3D实时、动态测量;

　　·横向分辨率不低于450nm(40倍物镜时)，纵向分辨率不低于0.6nm;

　　·动态测试频率达25MHz;

　　·形貌测量时无需隔振。

　　应用范围

　　该设备主要用于微小元器件的全场景超快速移动三维测量，材料大面积三维形貌快速测量，表面光洁度分析，实时动态观测等。