1、高纯氩气和氮气应存放在阴凉、透风处,每次安装好减压阀之后,必须进行检漏,保证气体无泄漏;
2、工作前,先检查电源线路及气源管路完好。开启仪器,应先开气源,再开循环水,最后开高频电源,封闭仪器按相反的步骤进行;
3、点燃等离子体之前,必须先打开透风系统,同时确保炬室门封闭,琐扣完全到位;
4、打开炬室门之前,必须封闭等离子体;等离子体至少封闭5分钟之后,才可以进行炬室部分的处理工作;
5、工作结束后,必须封闭高频开关。