扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

扫描电镜的优点是：

①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调;

②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;

③试样制备简单。

 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。