电感耦合等离子体发射光谱仪能测定几十种金属元素和非金属元素。广泛应用于化工、轻工、食品、材料、冶金、生物、农业等领域。高频振荡器发生的高频电流，经过耦合系统连接在位于等离子体发生管上端，铜制内部用水冷却的管状线圈上。石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氢气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道，环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁，防止管壁受热熔化的作用。