辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。

　　离子氮化炉是在真空容器中使含氮稀薄气体在直流电场中电离，正离子轰击金 属零件表面形成氮化层，以达到表面硬化的设备。离子氮化对于球墨铸铁、合金钢、不锈钢、粉末冶金制品、钛合金、高速钢、工具钢等均有显著氮化效果。离子氮化炉由炉体、输电装置、真空获得系统、供电系统、供气系统、温度测量五部分组成。